超高分辨肖特基場發射掃描電鏡

超高分辨肖特基場發射掃描電鏡核心理念

1. 采用優異的成像技術
   SU7000可以迅速獲取從大視野全貌圖到表面微細結構等多種檢測信號。全新設計的電子光學系統和檢測系統，使得裝置可以同時接收二次電子和背散射電子等信號，用戶可以在短時間內獲得更全面的樣品信息。

2. 采用多通道成像技術
   隨著用戶對成像需求的不斷增長，SU7000特新增了幾種探測器，還引進了相應的成像功能。SU7000最多可同時顯示和保存6通道信號。實現了獲得樣品信息的。

3. 支持不同形狀樣品、多種觀察方法
   ?大型樣品觀察
   ?低真空觀察
   ?超低溫觀察
   ?實時觀察
   等所需的樣品倉和真空系統都十分完備，觀察方法也是。

4. 支持微納解析
   采用肖特基發射電子槍，最大束流可達到200 nA，適用于各種微納解析。樣品倉形狀和接口設置支持EDX分析、EBSD、陰極熒光分析等，接口設備可通過選配附件滿足各種特殊需求。

超高分辨肖特基場發射掃描電鏡成像能力

追求信息的檢測系統

隨著用戶對樣品數據的需求更加多元化，對檢測系統在短時間內捕捉更多的信息提出了更高的要求。SU7000的檢測系統可以在不改變WD等條件的前提下，更高效地獲取形貌、成分、晶體學以及發光等信息。真正實現了更快速、更全面的信息收集。

同一條件觀察

通過UD、MD、LD探測器同時采集信號的應用實例 （加速電壓：1 kV）
通過UD、MD、LD探測器可以同時采集信號，UD可獲取表面微細形狀信息，MD可獲取表面有機物包覆狀態信息，LD可獲取整體凹凸形貌信息。在同一個條件下，實現了獲取信息的。

采用可多通道顯示的GUI設計

優化信號顯示功能

• 成像單元在信號顯示上也作了全新升級。

• 用戶可根據觀察需求，選擇不同的視場角和通道數。

• 單屏最多可同時顯示4通道信號。

• 導航功能(SEM MAP)可以輕松捕捉到顯示樣品倉內信息的CCD相機圖像和相機拍攝到的樣品圖像，快速顯示目標圖像。

• 使用雙屏顯示時，可在一個顯示屏上雙通道顯示1,280×960像素的圖像，另一個顯示屏專門用來顯示信號，最多可同時顯示6通道信號。

高自由度的界面布局

支持雙屏顯示

1st顯示屏專門用來顯示圖像，2nd顯示屏用來顯示操作面板畫面。上圖左圖（1st顯示屏）是通過SU7000觀察到的鋼鐵中非金屬夾雜物的圖片。圖中清晰呈現出UD、LD、UVD、MD、PD-BSED5個探測器捕捉到的圖像以及SEM MAP圖。右圖（2nd顯示屏）將操作面板菜單和圖像歷史記錄窗口在同一個畫面中顯示，界面布局清晰明了。在實現實時監控圖像的同時，操作性能也得到了進一步提升。

可擴展觀察和分析方法

樣品倉和馬達臺

樣品倉可搭載最大直徑為φ 200 mm；最高80 mm的樣品。大開倉設計，標配18個附件接口。樣品臺可搭載XY軸最大移動距離為135×100 mm，最重2 kg的樣品。搭載大型樣品和功能樣品臺*不成問題。

相機導航功能(*)

SU7000可選配導航相機(*)，迅速鎖定要觀察的位置。相機安裝在樣品倉內，插入樣品后，可半自動拍攝樣品的整體圖像。該圖像會被顯示到導航畫面（SEM MAP）窗口，因此，用戶可以觀察窗口中的圖像判斷位置。最大適用尺寸為φ 100 mm。

• (*)

• 可選配相機。

支持動態觀察的檢測系統

SU7000可用于環境改變的動態觀察。低真空觀察時，可以選用PD-BSED（背散射電子探測器）、UVD、MD等各種探測器(**)。

低真空環境的探測器選擇
左圖為通過MD（背散射電子），右圖為通過UVD（二次電子）探測器觀察到的金屬氧化物纖維的情況。兩張圖分別清晰地呈現出氧化物的分散狀態和纖維的堆積情況。

PD-BSED：響應速度提高
左圖是以一般的響應速度，約每兩秒掃描一次得到的圖像；右圖抑制了圖像的漂移，使得整體的畫質得到了大幅提升。隨著響應速度的提高，更適用于In-Situ觀察。