場發射掃描電子顯微鏡

場發射掃描電子顯微鏡SEM5000

產品介紹

SEM5000是一款分辨率高、功能豐富的場發射掃描電子顯微鏡。

*鏡筒設計，高壓隧道技術（SuperTunnel）、低像差無漏磁物鏡設計，實現了低電壓高分辨率成像，同時磁性樣品可適用。光學導航、完善的自動功能、精心設計的人機交互，優化的操作和使用流程，無論經驗是否豐富，都可以快速上手，完

成高分辨率拍攝任務。

電子槍類型      肖特基場發射電子槍

加速電壓          20V ~ 30 kV

分辨率             1 nm @ 15 kV, SE    1.5nm @ 1 kV, SE   0.8nm@30KV, STEM

樣品臺             五軸全自動樣品臺

放大倍率          1 ~ 2,500,000 x

產品特點

分辨率高，低加速電壓下實現高分辨成像

電磁復合物鏡，減小像差，顯著提高低電壓下的分辨率，而且可觀察磁性樣品

高壓隧道技術(SuperTunnel) ，在隧道中的電子能保持高能量，減少了空間電荷效應，低電壓分辨率得到保證

電子光路無交叉，有效的降低系統像差，提升分辨能力

水冷恒溫物鏡，保證物鏡工作的穩定性、可靠性和可重復性

磁偏轉六孔可調光闌，自動切換光闌孔，無需機械調節，實現高分辨率觀察或大束流分析模式快速切換

應用領域

規格參數

電子光學系統

分辨率                0.9 nm @ 15 kV, SE

                          1.3 nm @ 1 kV, SE

                           0.8nm@30KV, STEM

放大倍率            1 x ～ 2,500,000 x

加速電壓            20V ～ 30 kV

電子槍類型         肖特基場發射電子槍

探測器及拓展

標配                    鏡筒內高角度電子探測器

                          側向二次電子探測器

選配                    插入式背散射電子探測器

                          STEM自動插入式掃描透射探測器
                          樣品交換倉
                         高速束閘和電子束曝光
                          EDS能譜儀
                          EBSD背散射衍射
                          EBIC電子束感生電流
                         CL陰極熒光
                          高低溫原位拉伸臺
                         納米機械手
                         大圖拼接

                         軌跡球 & 旋鈕控制板

樣品室

真空系統            全自動控制，無油真空系統

攝像頭                雙攝像頭

                           ( 光學導航 + 樣品倉內監控 )

樣品臺配置行程

                           X: 125 mm

                           Y: 125 mm

                           Z: 50mm

                           R: 360°

                           T: -10°～ +90°

軟件

語言                    中文

操作系統              Windows

導航                    光學導航、手勢快捷導航

自動功能             自動亮度對比度、自動聚焦、自動像散